株式会社日本マイクロニクス出願公開件数と特許取得件数をお知らせします。（2013年）
直近の一部をご紹介します。
■ 2013年 出願公開件数 45件 （2012年：36件）
■ 2013年 特許取得件数 56件 （2012年：43件）
公開日 2013年12月5日
量子電池の試験用半導体プローブ、試験装置及び試験方法の概要をご紹介します。
■2013年 出願公開
公報番号 発明の名称 公報発行日
特開 2013-251486 吸着テーブル 2013年12月12日
特開 2013-250224 プローブカード及びその製造方法 2013年12月12日
特開 2013-248659 照射装置及び照射方法 2013年12月12日
特開 2013-246153 プローブカード 2013年12月 9日
特開 2013-246133 接合パッド、プローブ組立体及び
接合パッドの製造方法 2013年12月 9日
特開 2013-246116 通電試験用プローブ 2013年12月 9日
特開 2013-246091 カンチレバー型プローブと
そのクリーニング方法 2013年12月 9日
特開 2013-246069 プローブカード、検査方法および検査装置 2013年12月 9日
特開 2013-246964 有機ＥＬ素子の欠陥除去装置及び方法、
並びに、欠陥種類特定装置及び方法 2013年12月 9日
特開 2013-242236 固体撮像素子用プローブカードとそれを
用いる固体撮像素子の検査方法 2013年12月 5日
特開 2013-239617 端子間接続機構 2013年11月28日
特開 2013-235871 基板間接続構造 2013年11月21日
特開 2013-219287 多層配線基板とその製造方法 2013年10月24日
特開 2013-205098 プローブ及びプローブカード 2013年10月 7日
特開 2013-200256 プローブ装置 2013年10月 3日
■2013年 特許取得
公報番号 発明の名称 公報発行日
特許 5371099 目視検査装置と目視検査方法 2013年12月18日
特許 5372706 プローブ針ガイド部材及びこれを
備えたプローブカード並びにそれを
用いる半導体装置の試験方法 2013年12月18日
特許 5363943 導電性シート及び導電性シートの
製造方法並びにプローブカード
及び検査装置 2013年12月11日
特許 5364240 プローブユニット及び検査装置 2013年12月11日
特許 5367484 検査システム 2013年12月11日
特許 5342418 電気的試験用プローブ及びこれを
用いた電気的接続装置 2013年11月13日
特許 5335614 欠陥画素アドレス検出方法並びに検出装置 2013年11月 6日
特許 5337341 電気的接続装置およびその組み立て方法 2013年11月 6日
特許 5328958 通電試験用プローブ組立体 2013年10月30日
特許 5322822 半導体検査用ウエハプローバ及び検査方法 2013年10月23日
特許 5308958 表示パネルのためのワークテーブル及び試験装置 2013年10月 9日
特許 5312227 プローブカード及び検査装置 2013年10月 9日
特許 5308845 金属微粒子の噴射ノズル 2013年10月 9日
特許 5300431 被検査基板のアライメント装置 2013年 9月25日
特許 5294982 電気的接続装置 2013年 9月18日
公開日 2013年12月5日
量子電池の試験用半導体プローブ、試験装置及び試験方法をご紹介します。
量子電池の製作プロセス途中での充電層の電気的特性評価を、損傷することなく行う事ができる半導体プローブによる量子電池の試験装置及び試験方法を提供する。電極５４と金属酸化物半導体５６とを支持体５２に積層して構成された半導体プローブ５０に、さらに量子電池と同じ材料でプローブ充電層５８を形成し、紫外線照射する。半導体プローブ５０に、量子電池と同じ材料でプローブ充電層５８を形成することで、量子電池の充電層を傷つけることが無く評価が可能である。このプローブ充電層５８を備えた半導体プローブ５０を使用して、電圧計６４と、定電流源６２又は放電抵抗６６により、量子電池製作途中での充電層１８の充放電特性を測定する試験装置及び試験方法を提供する。
量子電池の試験用半導体プローブ、試験装置及び試験方法
量子電池は、基板と、導電性のベース電極と、絶縁性物質で覆われたｎ型金属酸化物半導体を光励起構造変化させることによりバンドギャップ中にエネルギー準位を形成して電子を捕獲する充電層と、Ｐ型半導体層と、導電性の対向電極とを積層して構成されている。充電層へは、ベース電極と対向電極間に電源を接続して充電する。
この様な量子電池は、その製作プロセスにおいて機能を確認するための電流―電圧特性及び充放電特性の評価がおこなわれている。
